一．产品特点

仪器管路经钝化处理，零死体积管路设计，等特殊工艺保证了系统的惰性，可靠性更高，使用寿命更长进样预处理系统和切换阀均采用带吹扫保护气路的进口自动阀，可防止空气混入、提高系统的密闭性

配置气体分离专用微填充柱和高效毛细管柱，配合分离预切再分离技术，实现样品更高分离度

采用了的10/100M自适应以太网接口，实现全网络反控，工作站界面简单，数据处理功能强大。

采用成熟的多阀多柱，中心切割和反吹技术，的设计工艺，稳定可靠的高纯气体分析色谱技术解决方案

氦离子检测器

二．技术参数

◆温控系统

柱箱温度范围：室温+5℃～450℃

温度设定精度：0.01℃

温控数量：8路独立控温系统

程序升温速度：0.1～40℃/min

智能后开门：进出风量无级可调

降温速度：从350℃降至50℃＜7min

程序升温阶数：16阶（可扩展）

*长一次运行时间：999.99min

◆进样系统

控制方式：压力/流量控制

流量：气体流量为1000SCCM

灵敏度：0.01SCCM

输出偏移量（精度）：±5%

分流比：5000:1

电磁阀：高速切换电磁阀寿命长(10mS，100万次)

进样阀：可搭载多个进口自动控制阀，可自动序列运行

◆检测器及纯化器系统

检测气体类型：H2、Ar、O2、N2、CH4、CO、CO2等

放电模式：脉冲放电

基线噪声：≤0.05mv

基线漂移：≤0.2mv/30min

检测限：10ppb（甲烷）

重复性：RSD≤3%

可纯化气体：He、Ar、Ne、Kr、Xe等

操作压力：1000Psi

去除气体：H2、O2、N2、CO、CO2、CH4、H2O、NO、NH3等

残留浓度：≤10ppb

检测指标：

三．适用标准：

GB/T 16942-2009《电子工业用气体 氢》      GB/T 16943-2009《电子工业用气体 氦》

GB/T 16944-2009《电子工业用气体 氮》      GB/T 16945-2009《电子工业用气体 氩》

GB/T 14604-2009《电子工业用气体 氧》      GB/T 14601-2009《电子工业用气体 氨》     

GB/T 15909-2009《电子工业用气体 硅烷》  GB/T 18994-2003《电子工业用气体 高纯氯》

GB/T 14851-93《电子工业用气体 磷化氢》  GB/T 14603-2009《电子工业用气体 》   

GB/T 28125.1-2011《空分工艺中危险物质的测定》

四．典型谱图：

更新时间：2025/12/1 20:35:43