工业发展推动了气体行业的飞速发展，对高纯气、超纯气、电子气、特种气体的需求也大大提升了，提升的不仅仅是用量，质量要求也更加高。气体提纯工艺和检测成为了各大气体生产单位需要紧迫解决的问题。对于气体的检测也随着工业需求在逐步的向前推进，氦离子化检测器也越来越普遍地被应用在高纯气、电子气中痕量杂质的检测。

目前国内在高纯气体分析领域多数采用的热导（TCD）检测器由于灵敏度有限，很难测定5ppm以下的杂质；氧化锆检测器由于是一种选择性的检测器，只能分析少数几种气体杂质；而氩离子检测器又往往带有放射源。均不能很好的满足高纯气体分析的基本要求。

氦离子气相色谱仪适用于高纯气体和电子工业用气体中痕量杂质的检测，蕞小检测浓度可达5ppb。仪器配备高灵敏的氦离子化检测器，适用于高纯氢、氧、氩、氮、氦、氖、氪、氙、二氧化碳等气体中痕量杂质的检测，一次性完成上述高纯气体中H2、O2（Ar）、N2、CH4、CO、CO2等常见杂质或C1-C4等碳氢化合物的检测，检测限达ppb级，重复性RSD≤1％。

一、适用标准：

GB/T3634.2《纯氢、高纯氢和超纯氢》  GB/T 14599《纯氧、高纯氧和超纯氧》

GB/T 8979《纯氮、高纯氮和超纯氮》    GB/T 4842《氩》

GB/T 4844 《纯氦、高纯氦和超纯氦》   GB/T 17873《纯氖》

GB/T 5829《氪气》                              GB/T 5828《氙气》

HG/T 3633《纯甲烷》                           GB 10621《食品添加剂  液体二氧化碳》

GB/T 23938 《高纯二氧化碳》               GB/T 28125.1《空分工艺中危险物质的测定》

杂质种类：           H2   O2   N2   CO   CH4   CO2   C2H4   C2H6   C2H2   N2O   苯

检测限（ppb）：   5    10     10    25       5        5       10       10       10         5       1

仪器系统配置：

GC-9280气相色谱仪主机

中心切割及反吹系统

分析柱（1套）

PDHID检测器

电脑反控色谱工作站

标准气体

气体取样阀

高纯氦（纯度>99.999％）

He纯化器

载气减压阀（双极全不锈钢、无渗透无死体积）

金属过滤系统